金融界2024年9月19日消息，天眼查知识产权信息显示，东莞市鼎力自动化科技有限公司取得一项名为“一种晶圆磨边倒角设备“，授权公告号CN118417989B，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆磨边倒角设备，本发明涉及晶圆加工技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机架，所述底座的顶部中部安装有承载锁定台，所述承载锁定台与机架的表面相连接，所述机架的外缘表面上安装有排屑磨边器。该晶圆磨边倒角设备，通过承载锁定台对待磨边倒角的晶圆片进行承载锁定，并带动晶圆旋转，利用排屑磨边器对晶圆片的边缘进行磨边及倒角的操作，同时，向晶圆片边缘喷洒磨削液，并在旋转力作用下导引磨削液在晶圆边缘流动，有效带走磨削过程中产生的微粒，并通过流体动力学效应减轻刀具与晶圆片接触时的摩擦，减少热量产生，从而提升磨削平整度和晶圆的磨边倒角质量。
本文源自金融界
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